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- 为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。
靶材的密度不仅影响溅射速率,*回收铟锭,还影响着薄膜的电学和光学性能。
靶材密度越高,薄膜的性能越好。
此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。
密度也是靶材的关键性能指标之一。
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